二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-35066 #293659196 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0190-35066 Reactor是一种创新而精密的反应器，用于固态沉积到晶圆上。反应堆的设计允许将材料均匀沉积到晶片上，用于各种半导体器件。该反应器能够显着提高沉积过程的速度和效率。AMAT 0190-35066反应堆的反应堆室是一种垂直的金属室，由电阻加热。它是一个由钢合金制成的圆柱形腔室，涂有石墨层，可提供优异的隔热效果。腔室还有一个可调的底板和一个顶部气体入口，它连接到位于底部的气体分配板。该腔室还包括一个石英窗口，允许直接查看过程。反应堆采用Univex XE微型对流炉作为热源和过程控制器。该炉的温度范围从室温到1700 °C不等，具有± 2 °C的温度偏差，非常精确。该室还具有多种可编程功能，以使反应堆适应用户的需要。此外，0190-35066反应堆还具备多种安全功能，以确保用户安全。当温度超过预先设定的限值时，腔室门会自动锁定，并且腔室配有传感器，可检测炉膛气体压力和流量的任何变化。还存在一个热传感器,如果温度超过最大限制,该传感器将关闭腔室的电源。此外，腔室还设有可调节的安全计时器，在设定的时间段结束时自动终止过程。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS 0190-35066反应堆是一种先进可靠的反应堆，旨在提高沉积过程的速度和精度。它具有宽广的温度范围、可调的压板、可编程的功能以及众多的安全特性，对于那些希望将材料可靠地沉积到晶片上的人们来说，这是一个绝佳的选择。