二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 019009275 / 019009272 #293658103 待售

AMAT 019009275（光阻粉碎机）和APPLIED MATERIALS 019009272（光阻蚀刻机）是用于生产工业上的半导体器件的反应器--标准的300毫米（12英寸）晶片。这些反应堆利用高温和精确的工艺控制来清洁和蚀刻用于高科技芯片制造的材料。019009275光致抗蚀剂asher是一种用于去除半导体晶片上的光致抗蚀剂的单晶片、大气压氧化性asher。它有一个高度均匀、大容量的气体分配设备，确保整个腔室的操作气氛均匀。硅室采用高温、直接载荷、强制对流系统，使高温处理速度更快。它还可以在加工前自动预热基板，以减少热应力。019009272光刻蚀刻器是一种单晶片、静电聚焦、高真空蚀刻反应器。它从基板表面去除光致抗蚀剂以准备离子注入，以及形成集成电路制造的模式。它有一个保证均匀运行气氛的高度均匀的气体分配单元，以及一个强制对流输送机器，以允许更高效的气体输送。腔室还设有冷却销架，以帮助维持晶圆温度，和动态基板偏置，以帮助控制蚀刻速率和均匀性。这两个流程均具有自动化的实时流程监控功能,以确保跨多个晶圆的流程一致性,以及用于分析正在运行的流程的高级诊断程序。工艺端点检测工具也有助于减少抗反射涂层（ARC）的分解，而蚀刻后清洗资产则有助于减少晶圆表面的氧化物残留。AMAT/APPLIED MATERIALS 019009275和019009272是一个可靠、高度统一、高效的半导体晶片加工平台。它们为芯片制造提供可靠的高通量制造工艺,使其成为高科技芯片制造的理想选择。