二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0195-07994 #293663243 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0195-07994是一种双充气反应堆，设计用于半导体和复合半导体行业的沉积过程。它专为硅蚀刻工艺而设计，但也可用于其他材料。这种反应堆是高度可配置的，允许用户为他们想要的过程定制它。它有两个单独的气体通道，单独绝缘，以便更好地控制温度的腔室。这两个密室配有一个单独的洁净室安全环境，用户可以在将它们运到反应堆之前储存和准备他们的工艺气体和样品。AMAT 0195-07994反应堆具有多种气体供料，便于同时引入多种气体的实验。气体输送设备效率高，具有可调流量调节器，可实现最优控制。此外，用户可以分别控制每种气体的流量，为有针对性的实验提供精确的输送。反应堆还可以在低压环境中运行，这在使用乙烯和碳氟化合物气体时是有利的。该系统的所有组件，包括气体输送单元、加工室和安全联锁，都被安置在一个单元内，以方便使用。此外，反应器的工艺室还配备了控制温度和沉积速率的先进自动化装置。这是通过Softbank机器完成的,该机器与腔室的计算机集成在一起。此工具允许用户控制和监视实验参数,并根据需要对其进行调整。最后，整个资产的设计考虑到了安全性。它包括几个旨在防止任何危险状况发展的安全联锁，如高压力或高温。此外,该模型的设计符合半导体行业法规的严格安全标准,确保过程安全高效地完成。