二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0200-06824 #293668873 待售

ID: 293668873
晶圆大小: 12"
Cover ring for Ultima X, 12" Process: HDPCVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0200-06824是一种先进的用于半导体制造的等离子体蚀刻反应器。该设备为浅沟隔离和浅沟深硅蚀刻的关键特征定义提供了解决方桉。反应器的工艺室是一种全金属设计,具有多个电极,使其能够调整选择性蚀刻速率,以提供优异的效果。其先进的等离子体源提供卓越的电气控制,可重复的过程性能。该系统设计为小型密封单元,降低了噪声水平,提高了单元清洁度。AMAT 0200-06824先进的电源和控制电子设备提供高性能精度。这通过压力控制机的能力表现出来,使其在操作过程中能够保持出色的过程重复性,并最大限度地减少对腔壁的离子轰击。反应堆先进的射频发生器也允许量身定制蚀刻轮廓形状控制。最终用户将享受直观易用的GUI(Graphical User Interface),让配方的创建和设置成为一种微风。有了各种各样的工艺配方,反应堆的用户就能够为他们想要达到的产品优化他们的工艺参数。该工具还支持可重复运行,并配备了健康监视器,以便用户可以检查资产的状况。APPLIED MATERIALS 0200-06824是生产优质半导体材料的直观高效模型。凭借先进的等离子体控制系统和广泛的工艺配方,反应堆允许用户精确控制蚀刻轮廓,以获得卓越的性能。它的图形用户界面使设置和配方创建成为一项简单的任务,而其健康监控设备确保操作员拥有做出合理决策的最佳信息。
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