二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-70935, 0240-70936 #9038984 待售

AMAT 0240-70935和0240-70936大型并联反应堆是将多种材料以最高的吞吐量速度和可重复性沉积到基板上的专用工具。这些系统由一系列平行流动反应堆构成，能够快速有效地将各种单层或多层薄膜沉积到平坦的以及有图样的基板上。得益于低热质量设计，这些反应堆可以生产出厚度、尺寸和分辨率范围广泛的高质量薄膜。此外，所有这些过程都是在精确的低温腔室环境中进行的，这有助于减少缺陷率和热损伤。该反应堆还可用于大批量生产和基于研究的实验。应用材料0240-70935/70936反应堆都配备了控制精确，可重复生产各种薄膜。系统的基本元件是双独立质量流控制器。这些控制器可以精确控制将要沉积的各个层、每个层的厚度以及所需的温度设置。对于沉积过程，反应器采用电热化学气相沉积法（又称"精密电化学气相沉积"）。这一过程提供了比溅射或物理气相沉积等其他方法更高的薄膜性能精度。反应堆的工艺室本身装有4向阀、真空口和气体喷射器，用于精确控制沉积过程，并确保只能制造高质量、均匀的沉积物。为了保证薄膜性能始终保持一致，腔室压力也经过精心调节。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-70935/70936有一个独立的静电风扇系统，有助于确保整个沉积过程中可靠和可重复的流动和压力。为了帮助准确监测这一过程，已经包括了一个实时在线厚度监测仪，以便进行精确的薄膜厚度测量。这些反应堆也是可定制的，能够为未来的扩展加入额外的组件。例如,可以添加控制器来调节蚀刻、快速热退火和扩展蚀刻过程。考虑到这些因素，AMAT 0240-70935/70936大型并联反应堆可以作为单一的独立进程或作为综合多模块系统的一部分运行。这些反应堆的独特特点使它们成为那些希望在精确、低温环境中沉积各种均匀性、厚度和分辨率最高的单层或多层薄膜的人的完美工具。