二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0242-73818-1 #9131586 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 0242-73818-1反应堆是一种半导体晶圆加工设备,设计具有特殊功能,能够高速、高质量地制造尖端集成电路(IC)。该反应堆采用紧凑的系统平台,利用自动化的加工室和机器人臂装置,能够快速装卸,同时尽量减少生产过程中的复杂性。该反应堆有一个石英工艺室,配备独立调节的气体和淋浴机组。此功能允许设置和调整各种工艺参数,以便为特定晶圆制造工艺创造最佳条件。该室还包含分布在各处的许多小型散热器,以确保统一的处理温度和精确的控制。此外,反应堆还具有获得专利的高频等离子体源,它允许更快的清洁、更快的蚀刻以及更高的晶圆性能。反应堆还有一个内置的机器人手臂机器,便于将晶片装卸进出加工室。机器人手臂由完全集成的运动控制工具控制,使操作员更容易控制过程的各个方面。机器人臂高度模块化,可以很容易地为不同的晶圆和IC定制,从而提高吞吐量和提高生产效率。此外,独一无二的六轴功能允许对工艺环境进行更灵活的控制。总体而言,AKT 0242-73818-1反应堆是一种先进的反应堆,适合快速、精确、高效的晶圆制造工艺。其自动化特性结合独立的燃气和淋浴机组、散热器和专利的高频等离子体源、内置机器人臂资产和集成运动控制模型,使其成为高容量、高质量晶片生产的理想选择。
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