二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0660-01699 #293659250 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0660-01699 Reactor是一种高性能、高度通用的装置，旨在接受多种工艺化学和底物。AMAT Reactor以创新、精确控制的技术为动力，是一种工艺驱动的装置，可以自动化生产各种材料，如固有和掺杂的硅、多晶硅、预非晶硅和非晶硅，以及单壁碳纳米管。反应堆设有一个可容纳多达八个晶圆的腔室，使其能够实现高通量。该室由不锈钢制成，采用气体扩散装置设计，以均匀分配工艺气体，确保沉积过程中的最佳热状态。其电加热系统能够提供精确到0.2°C以内的热预算以获得最佳性能。此外，其低电容电源单元可提供高达40kHz的精确频率范围，以确保精确的定时控制，从而实现快速高效的沉积。为了最大限度地提高安全性，APPLIED MATERIALS反应堆提供了一系列用户可调节的安全特性。当检测到污染或伤害的危险时，它的自动联锁机器会切断过程中的气体和电力供应。该腔室还设有一个门联锁开关，当腔室门打开时会脱离，可以用钥匙绕过。AMAT/APPLIED MATERIALS反应堆还具有先进的控制软件，能够提供卓越的精度和可重复性。它的实时调整提供了高度的灵活性和对工艺气体和基板温度的控制。此外,它的软件还具有自动事件日志记录功能,可确保质量控制并帮助实现远程调试功能。这种最先进的AMAT反应堆为各种薄膜和材料的沉积提供了极致的性能、准确性和精确度。通过提供各种可自定义的参数和参数,以适应所需的产品,此设备可以为许多应用程序和行业提供高质量的薄膜沉积。