二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 1350-01133 #293668149 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 1350-01133反应堆是生产半导体材料的独特工具。它设计用于沉积、氧化、退火、蚀刻以及在半导体晶片上创建高级电路结构所需的其他工艺。该设备能够在高达1400 °C的温度和高达0.2 Torr的压力下运行。AMAT 1350-01133反应堆是一种2室圆柱形构型,提供了多项优于传统系统的优势。它有两个独立的装置,有单独的腔室和工艺温度。反应室的出口法兰装有气体密封,防止任何反应性气体塌陷回腔内,防止气体泄漏。这与高温石英壁一起,允许高度的精确度和可重复性。低压和温度组合消除了由于腔内存在气体而导致不均匀的可能性。应用材料1350-01133反应堆还提供低能耗和降低运行成本。该系统可容纳直径达6英寸的晶片和深度达20mm的特氟龙积液电池。1350-01133反应堆可用于生产介电层和金属层,用于半导体在散装基板和图桉化基板上的应用。该单元也适用于2D和3D进程。它具有先进的运动控制机,多轴,位置精度为0.001mm。先进的运动控制工具通过沉积过程确保一层缓慢、稳定的堆积,为集成电路提供了极好的均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS 1350-01133反应堆提供了多种安全特性,如过温过压安全阀和顶级控制资产。这样可以确保用户的安全,同时还可以控制流程环境,并防止在操作过程中发生任何意外更改。该模型还具有数据记录和设备控制的可编程体系结构。总体而言,AMAT 1350-01133反应堆是生产半导体材料的先进系统,具有很高的安全性和准确性。高温石英壁和低压环境导致半导体晶片上的层均匀,先进的运动控制单元允许复杂结构的层稳定堆积。APPLICED MATERIALS 1350-01133反应堆具有安全特性和可编程架构,是半导体生产的理想选择。
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