二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #293620425 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 1600是一个单晶圆反应器，设计用于各种半导体元件的高通量生产，如现代晶圆和基板。这种多用途反应堆设计用于加工直径达6英寸的单片式、无负荷晶片。反应堆设计接受两个单独的卡带，允许两个单独的进程同时运行。反应堆精密的工艺室设计允许多维、高密度等离子体（HDP）均匀分布。这种专用腔室还能在可重复的周期时间内产生可重复的、高度可靠的、高产量的结果。AKT 1600配备了多喷嘴淋浴头，确保了所有基板速率的介电均匀性。反应堆室装有气流歧管和数字氧气表。此功能提供了对每个流程的特定流程需求的最佳控制。反应堆设计为在干燥的环境中运行，允许清洁的过程环境。微型传感器和带阀门的涡轮泵为每个过程提供正确数量的工艺气体，为反应堆增加可靠、可重复的性能。该处理器还配备了深度可调节的船标高系统，以确保无负载晶片的最佳沉积均匀性。AMAT AKT1600带有触摸屏用户界面,可快速更改和轻松监控流程参数和配方。流程监控系统有助于最大限度地减少停机时间,并最大限度地提高每个流程的产量。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT AKT1600是半导体元件高通量生产的绝佳选择。