二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #9364083 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 1600反应堆是一种等离子体蚀刻、沉积和退火设备，用于材料加工应用。凭借其先进的纳米技术能力，该反应堆用于涉及薄膜沉积和蚀刻的研发项目。AKT 1600利用感应耦合等离子体（ICP）源，产生高温、高能离子和其他种类，可用于蚀刻多种材料。这个ICP电源由高频RF电源供电，可以调整以调整传递给等离子体的功率。AMAT AKT1600能够在75至1200摄氏度的高温下工作。APPLICED MATERIALS 1600是一个双室，水平配置的反应器，带有一个负载锁定室。锁载室用于在两个腔室之间运输晶片载体，而不会使腔室或设备暴露于外部污染。这样可以防止任何空气或其他污染物进入加工室。AMAT 1600能够沉积金属、聚合物、电介质等多种薄膜。这是通过将气体带入机组的气体注入系统，结合ICP机的源功率，可以改变沉积物质的密度来实现的。产生定向视线（DLOS）的先进加热元件允许将沉积的薄膜或其他材料退火在腔室中,并且可以设置五分钟到几小时之间的时间。1600能够实时控制工艺速率和组成，这使得它们能够精确。这种精确度，加上先进的加热元件，可以保证良好的过程重复性和可靠性。该工具还配备了种类繁多的诊断能力，如相机成像和红外成像。总体而言，AMAT/AKT AKT1600反应堆是用于材料加工应用的先进工具。它具有ICP资产和DLOS加热能力，能够产生精确的蚀刻、沉积和退火结果。这些特性使其能够产生具有可重复结果的坚固结构，确保其最终产品的质量和可靠性。