二手 AMAT / APPLIED MATERIALS (2) Chambers for Endura #293667135 待售

AMAT （2） Endura室是一个可定制的超高真空室，用于半导体行业的各种研发和生产工艺应用。这套精确可靠的腔室是为了满足要求苛刻的半导体环境的需要而设计的。应用材料（2） Endura室由两个独立的室组成----一个主加工室和一个背面加工室。主加工室为大尺寸室，容量为4.8升（1.3加仑），容积为3.15立方米（1.2立方英尺）。它采用304不锈钢制成的全金属结构，并配有用于温度控制的精确控制加热元件。腔室还支持包括涡轮分子泵、涡旋泵、冷冻泵、涡轮阻力泵、离子泵在内的多种真空泵，因此可以为每个作业选择最佳的真空解决方桉。第二个腔室（背面工艺）是一个缩小尺寸的封闭腔室，通常用于蚀刻和溅射。它具有0.21立方米（0.07立方英尺）的体积，并提供高达500 °C的温度控制。它采用双壁不锈钢结构，并配有适合等离子辅助蚀刻工艺应用的定制电极。AMAT/APPLIED MATERIALS （2） Endura室通常连接到您现有的真空系统,使您能够简化现有流程,同时确保高精度和一致性。该室套还配备了紧急停车开关、接地连接、通风罩、安全灯帘等安全功能。最终的结果是一个强大而可靠的工具，非常适合许多研发和生产过程的应用。该腔室套件的建造是持久的，其精确控制的加热系统确保了一致的结果，使其成为满足半导体行业苛刻要求的逻辑选择。