二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3020-00595 #293668137 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 3020-00595反应器是一种先进的双壁蚀刻不锈钢反应室,旨在为精细的半导体蚀刻沉积工艺提供受控环境。这种类型的反应器提供了高温和高压能力,以扩大工作范围,以及出色的温度均匀性。它还具有独特、易于清洁的设计和强大的过滤设备,可用于理想的工艺环境。AMAT 3020-00595具有两个截然不同的组件-一个双壁蚀刻不锈钢反应室和一个顶置安全壳盖。反应室的双壁为不锈钢,具有高温、高压(HT/HP)的性能。顶部安装的安全壳盖由绝缘材料制成,保护反应室不受任何挥发性试剂的影响。这两个部件通过高强度垫片密封在一起,并允许扩展操作范围。腔室还设有机械通风口系统,有助于控制腔室内的温度、压力、湿度和其他工艺条件。通风口有助于提高反应的均匀性,使敏感过程能够安全高效地进行。APPLICED MATERIALS 3020-00595的独特设计让维护和清洁更加方便。它有一个可选的排水塞机器,使得它很容易冲洗或更换化学物质,并且电抛光的内表面易于清洁和抵抗腐蚀。腔室壁和盖子之间的通道创建了一个有效的过滤工具,可以捕获任何挥发性材料并防止它们进入过程。3020-00595是一个坚固可靠的反应堆,设计为在广泛的条件下运行,执行精细的半导体蚀刻沉积过程,并有精确的控制。其强大的双壁设计和强大的过滤资产确保了理想的工艺环境。易于维护和清洁的设计以及可选的排水插头型号,便于维护和清洁。
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