二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #293608213 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 3500是设计用于半导体工业的高性能多功能反应堆。它是一个单室设备与玻璃静态蚀刻室能够多种工艺和蚀刻配方。它具有多种功能，全部在一个腔室内，包括蚀刻、沉积和化学气相沉积（CVD）能力。AKT 3500反应堆设计用于处理晶圆和散装水平的各种材料。这种灵活性是通过同时使用石英衬里底物支架和反应管来实现的。石英衬里反应管确保了高生产率蚀刻应用的最高纯度结果，而底物支架是专门为传统底物的加工而设计的，具有更大的负荷和更低的渗漏。此外，AMAT AKT-3500反应堆具有干湿清洁过程以及多重钝化和聚氯乙烯过程的能力。除了其多用途功能外，APPLIED MATERIALS AKT-3500反应堆还配备了真空监控系统，跟踪温度、压力、流量等关键参数，让用户精确控制自己的工艺周期。该单元采用自锁两步联锁机进一步设计，确保了整个过程的最大安全。AKT-3500符合业界新出现的安全和环境法规，如《清洁空气法》和加利福尼亚州的《清洁空气法》。该工具的设计也满足了严格的生产要求，通常是每天数百个晶圆，同时为用户提供了实现预期结果所需的清洁和可重复性。此外，AMAT 3500反应堆资产还配备了闭环控制模型，可以调动用户的过程参数，提高自动化程度和可预测性。APPLIED MATERIALS 3500是一种实用、能干的反应堆设备，提供了多功能使用的便利，非常适合许多工业过程。该系统价格合理,而且非常可靠,可帮助用户根据自己的特定需求实现精确和准确。随着半导体技术的不断发展，AKT AKT-3500反应堆装置为用户提供了成功所需的灵活性和性能。
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