二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9379475 待售
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ID: 9379475
优质的: 2008
PECVD System
G-SiO
(4) Heat chambers
(4) ADVANCED ENGERY RF-50SWC RF Generators
Heat exchanger
Scrubber
(4) DC Power supplies
Pump:
ALCATEL ADP 122L
EBARA A200W.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一种先进的硅基化学气相沉积（CVD）反应器。AKT 3500是一款独特的先进沉积工具,旨在实现先进照明、光学、半导体和光电元件的高通量制造。它为将坚硬耐用的材料沉积在从玻璃到金属再到半导体材料的各种材料上提供了高度可重复、可靠和高效的工艺。AMAT AKT-3500旨在充分利用AKT专有的高级低温（ALT）工艺。这个过程使用多层加热的基板，并允许硅在较低的温度下沉积，从而对沉积过程进行更全面的控制。APPLICED MATERIALS 3500能够实现金属和氮化物层的超薄沉积，这是光导板和光学元件等应用所必需的。AKT AKT-3500是建立在一个新的大气压力沉积设备.这是一个气流沉积系统，基于一个独特的设计，利用多个沉积源，精确控制气流和独特的静电过滤单元，高通量薄膜生长。与传统的CVD系统相比，这使得沉积层具有极好的均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500机还配备了新开发的顺序快门控制工具。这使得沉积过程中的多个单独步骤能够以更高的准确性和控制力进行召集。这与集成的加热/冷却资产相结合,为精细调整的工艺参数提供了最佳的弹性和吞吐量。APPLICED MATERIALS AKT-3500是一种多功能反应器,可实现多种沉积配置。它非常适合光电应用,如LED、导光板、光学元件等。具有沉积多种材料和控制沉积性能的能力，AKT-3500反应器可以提供优异的效果。
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