二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380503 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一种多室等离子体蚀刻反应器，设计用于在广泛的应用中对装置进行精确蚀刻。一系列工艺室的大小从10"到20"不等，有可能蚀刻设备，最大腔室大小为19"。它在同一反应堆中提供反应性等离子体蚀刻和干蚀刻能力。AKT 3500反应堆根据蚀刻应用利用各种工艺气体，包括氯气、溴气、氟气、氙气、氮气、氧气、硅烷气和六氟化硫。它还利用直流（DC）电源来产生等离子体和各种磁场，以及电感耦合等离子体源来传递所需的能量输入。等离子体用于剥离不需要的物料层或在设备的物料中进行更深的蚀刻。根据蚀刻应用，AMAT AKT-3500可用于各种反应堆装置，包括单室、三室和四室。单室蚀刻工艺涉及所需工艺气体的单个单独源，而三室和四室可以同时利用多个气源。APPLIED MATERIALS 3500的每个腔室还配备了多条静电和静态气体采样线，以确保设备的均匀、均匀蚀刻。AKT AKT-3500反应堆还配备了一系列安全功能，包括消防和气体关闭系统，以及应急过滤器和排气系统。此外，该系统还包括温度调节和主动监测系统，以确保该过程始终在所需参数内运行。AKT-3500为各种应用要求提供可靠和高效的蚀刻结果。它可用于中、大面积装置的精密蚀刻，也可用于小面积装置的深层蚀刻。这种反应堆具有辅助均匀蚀刻的元件，可提供可扩展性，以满足各行业的需求。