二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380504 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 3500是一种反应堆，设计用于在半导体工业中执行多种工艺。它配备了高温和压力能力，使其能够执行大量的蚀刻和沉积任务。该反应堆可靠，用途广泛，使用安全，因为它配备了安全关闭功能。AKT 3500的核心是一个隔热、气密的热解石墨室，在使用过程中具有极好的导热性能和电阻/再生性能。此外，腔室内衬复合薄膜，有助于提高温度均匀性。反应堆采用先进的电阻加热设备进行加热，该设备具有调节传热速率的嵌入式温度传感器系统，并能保持准确和一致的温度。AMAT AKT-3500还设有一个集成的自动化过程控制单元，有助于确保可靠和可重复的结果。本机设计用于监测反应堆的温度和压力设置，并相应调整，以保持工艺精度。此外，该工具可以针对各种工艺和材料进行编程。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500还包括一个自动化的流程监测资产，它记录流程参数并协助记录结果。此模型还提供了对过程监视和分析功能的访问。此外，反应堆的设计包括各种选项，例如定制配置，以满足多种工艺要求。这些构型的例子包括电子回旋共振微波等离子体（ECR）、静电、溅射和离子植入。这样就可以量身定制AKT-3500，以满足各种半导体生产应用的具体需求。最后，APPLIED MATERIALS 3500可以配备高速射频电源，以及射频测量设备，以便在各种蚀刻和沉积过程中提供尽可能高的产量。综上所述，AMAT/AKT AKT-3500是一种先进、可靠、用途广泛的反应堆，设计用于在半导体工业中执行多个过程。其特点是具有超高温均匀性的耐温室，以及自动化的过程控制系统和过程监控单元。此外,它还可以针对各种操作进行定制,并配备高速射频电源,以获得尽可能高的产量。