二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380505 待售

ID: 9380505
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一个水平、气相、批量生产过程反应堆。它设计用于执行热解、CVD、氧化、氮化等多种热过程。该反应堆适用于一系列需要高温和良好工艺控制的应用。它可以提供高达3500瓦的工艺功率,精确度± 3%。AKT 3500由不锈钢室构成,用于改进温度控制,并设有加热窗口供热过程观察。反应堆使用可快速调节温度的闭环控制设备运行,允许精确的过程控制。它还包括用于精确加热的匹配电源。AMAT AKT-3500配备了用于精确气流控制和净化的气体控制模块,包括可以作为强制对流或天然对流炉运行的集成炉。该系统包含多种安全特性,包括三区互锁安全单元、装有安全警告装置的炉子、带有警告铃的排气锁。应用材料3500还包括用于散热的水冷却机。该工具用户友好,具有直观的图形用户界面和显示所有流程参数和反馈的7英寸彩色屏幕。它具有用于故障排除的内置自检程序,支持软件升级。反应堆灵活,可用于多种工艺类型,包括溢流、阈值和多步骤。它还支持其他腔室组件的集成,以促进产品的特定需求。AKT-3500是一种易于使用且可靠的热处理应用解决方桉。
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