二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380506 待售

ID: 9380506
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是第三代反应性离子蚀刻(RIE)反应器,旨在提供卓越的蚀刻性能并实现广泛的加工能力。AKT 3500是一款平行板蚀刻器,以其专有的行星气体分配技术,为生产超高精度介电、金属和硬掩模特性而设计。定制的水平和垂直气体配置可实现广泛的处理能力。这包括现代湿蚀刻、各向异性蚀刻(RIE)、深硅蚀刻以及金属和介电层的底切蚀刻。此外,AMAT AKT-3500还具有自动清洗垫子的功能,以减少清洁时间并提高现场蚀刻的均匀性。3500具有加载/锁定设备,能够快速加载以轻松更改管线。反应堆还具有先进的压力控制功能,能够在较长时间内重复均匀的过程。此外,AKT-3500还配备了特殊的可变层系统。此单元允许一个工具用于多层,从而减少了所需的设置时间,并消除了多层之间的额外负载。该机器还可以提高薄层上的工艺稳定性。此外,AKT AKT-3500采用原位加热工具,能够优化蚀刻温度,提高工艺控制和精度。应用材料3500已被证明是一种高度可靠和用户友好的机械,在全世界的半导体制造商和制造商中非常流行。该资产还设计用于简单直观的操作,目标是提高效率和吞吐量。最后,AMAT 3500是一个可靠和多用途的反应堆,允许用户进行广泛的蚀刻过程。其获得专利的平面气体分配技术提供了优异的蚀刻性能,而其负载/锁定模型、可变层设备、原位加热系统则进一步提升了机组的性能和应用能力。该机还用户友好,操作方便,可靠性高。
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