二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380507 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500反应器是一种高性能的磁密闭电子回旋共振（ECR）等离子体反应器，用于在各种基板上可靠、高效和精确地沉积层和涂层。该反应器可以在一系列腔室几何形状中实现均匀的等离子体蚀刻，并具有参数化灵活性，从而实现最优工艺优化。AKT 3500反应堆提供的原位等离子体表征能力为工艺优化和区域上恒定均匀沉积提供了强大的反馈控制能力。AMAT AKT-3500 Reactor能够生产高密度、高能等离子体,可用于广泛的沉积应用,包括金刚石状碳（DLC）涂层、介电层、多层堆栈和宽带隙氧化层。该反应堆有一个plc驱动的C-V机器人进料器，能够控制和监测所有工艺参数，如加热器功率、气流和沉积速率，以确保沉积的可靠性和均匀性。高密度等离子体和均匀沉积速率是利用双磁场系统结合电子加热设备实现的。APPLIED MATERIALS 3500 Reactor的双磁场系统位于由氦气闭环冷却系统冷却的腔室内部，以维持稳定的工作环境。磁场由两个形成ECR区的螺旋缠绕平面电感产生。这种ECR区允许在电子温度条件下有很大的动态范围，这种条件非常有利于高效生产高密度、高能等离子体。3500反应器的电子加热单元是一个微波波导机器，连接到ECR区。微波是通过射频子系统产生的，并战略性地定位在腔内，从而为高效的等离子体生产提供了最大的能量密度。其余的处理系统，如气体进料工具，其设计目的是确保在整个沉积过程中过程不间断和一致。AKT-3500反应堆是一种可靠、高效和精确的沉积资产，能够产生各种优质层和涂层。该反应器具有用于强大反馈控制的原位等离子体特性和用于稳定沉积环境的闭环冷却模型。AKT AKT-3500反应器具有参数化的灵活性和先进的工艺控制解决方桉，为任何沉积应用提供了最高水平的工艺优化和均匀沉积。