二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380511 待售

ID: 9380511
PECVD System.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 3500是一种高性能设备,可用于通过底物和掺杂剂的反应制造纳米级器件。这种尖端反应堆被设计为提供卓越的过程稳定性、效率和可重复性。它采用先进的过程控制系统,允许精确控制腔室参数,在过程执行过程中对腔室条件进行现场监测。AKT 3500具有先进的真空室,能够达到从低到高(10-4到10-2 torr)的过程压力。该腔室兼具倾斜和旋转能力,使装置能够以不同角度安装。这种能力提供了对工艺的更大控制,增强了对刀具倾斜和旋转的控制,从而创造出更加均匀的纳米结构。反应堆的用途也很广泛,能够在一定温度范围内(低至-120 °C)和晶圆尺寸(从4"到8")进行处理。利用其内置的气体溷合歧管,AMAT AKT-3500还可以高精度(1点校准)溷合气体,以更好地控制过程。AKT AKT-3500配置有一个先进的冷却装置,使设备的工作冷却能力从-30°C到200°C。这种冷却器有助于保持稳定的温度,从而增强纳米结构的发展,具有优异的性能和性能。该装置还具有改进的均匀性性能,这意味着可以以更高的效率生产出更均匀的纳米结构。3500还包含安全功能,例如联锁工具,用于监视过程参数,以确保过程稳定性。该设备还配备了自检功能,可以识别较小的设备故障,以减少发生重大工艺中断的可能性。总体而言,APPLIED MATERIALS AKT-3500是一项先进的资产,能够生产具有卓越性能和性能的纳米结构。该型号提供了强大的温度控制、改进的工艺一致性、全面的监控以及各种安全特性,使其成为生产纳米级器件的宝贵工具。
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