二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380513 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一款高性能的直列式等离子体蚀刻/清洁工艺设备，设计用于微电子行业的蚀刻和清洁工艺。该系统利用先进的等离子体控制模块，对反应性离子蚀刻（RIE）工艺进行精确控制，使蚀刻工艺具有卓越的均匀性和可重复性。该单元由几个子组件组成，包括一个等离子体发生器、一个自动负载锁、一个可调压力/流量控制器、一个用于加热晶片的板式加热器、嵌入式射频和直流源以及一个具有差动泵送的真空室。机器中的等离子体发生器利用一组泵送元件在高达0.2torr的压力下创建稳定的介电真空室，能够在蚀刻过程中产生等离子体和等离子体状态。等离子体发生器还能够提供广泛的薄膜成分、腔室压力和温度。该工具包括一个自动负载锁，用于有效装卸晶片，自动控制腔室压力和温度，用于一致的蚀刻过程。压力/流量控制器允许精确控制等离子体腔室的区域，并将原料气体和超纯蚀刻气体输送到腔室。这有助于确保等离子体产生的活性物种在整个蚀刻过程中的均匀分布，从而产生优越的蚀刻结果。资产还包括用于加热晶片以确保均匀蚀刻结果的平板加热器，以及用于一致蚀刻速率控制的嵌入式射频源。AKT 3500旨在为微电子行业提供一致、可靠和可重复的蚀刻工艺。其组合式组件能够对反应离子蚀刻过程进行精确控制，产生卓越的均匀性和可重复性。AMAT AKT-3500具有提供各种薄膜成分、腔室压力、温度和气体输送的能力,为微电子行业的蚀刻和清洁过程提供了有效的解决方桉。