二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380514 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 3500是AKT公司开发的一种化学反应堆。它是一种先进的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）生产设备，具有低温等离子体。这类沉积用于将各种材料的薄膜，主要是硅和氮，沉积在基板上。AKT 3500是一种用途广泛、用途广泛、可扩展的系统，可用于制造包括半导体元件、显示器和光学等多种产品。这个反应堆拥有一个水平安装的矩形腔室，用于处理多达8 "X 8"个底物。该室有双磁控管溅射源（DMS）和多源磁控管溅射源两种，可用于产生所需的等离子体环境。此外，该装置能够达到10°C至200°C的基板温度，从而能够精确控制沉积过程。反应堆配备了多种先进技术，旨在降低成本和提高效率。特别是，AMAT AKT-3500中使用的无窗真空室技术有助于减少热能损失，从而降低总体能耗，并减少颗粒污染。另一项先进技术，即柔性气体分配，可以精确控制前体气体流量，这有助于优化薄膜工艺。该机采用了获得专利的阴极电弧源技术，产生了高质量、均匀、沉积速率高的涂层。这是由于阳极和阴极之间产生的电弧，导致高能等离子体能够沉积没有污染物的薄膜。这项技术还提供了一个非常高的均匀性在整个基板薄膜沉积。APPLICED MATERIALS AKT-3500是业界领先的可定制工具,专为高精度薄膜沉积而设计.它提供了多种功能、技术和控制方法,使其成为许多生产应用程序的理想选择。这种最先进的资产还消除了传统PECVD系统的许多限制,为用户提供了一个效率更高、成本效益更高的解决方桉。