二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380515 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一种先进的低温PECVD（等离子体增强化学气相沉积）反应器，设计用于生产半导体结构。与传统的沉积系统相比，该反应器具有显着的优势，如更高的通量和更好的沉积均匀性。AKT 3500结合了独特的两级射频发电机系统，利用两个独立的级联射频源产生具有独立发电机控制的高频（HF）和可调射频电源。这使得用户可以通过精确控制气相温度和目标材料的沉积速率来配置和微调沉积过程。AMAT AKT-3500包含一个单壁反应室和各种轴向和径向气体喷射器，以方便沉积过程。注入区半径可调，使用户可以优化沉积均匀性和吞吐量。反作用室还包含峰值场区域，以确保反应物的均匀分布和目标材料的有效均匀沉积。除了射频发生器和反应室外，AKT-3500还具有复杂的电源、控制和诊断系统组合。这些系统允许用户监控和调整反应堆环境以获得最佳性能，同时最大限度地提高材料吞吐量和均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500还提供先进的安全功能，包括TMF（扭矩监测反馈）系统和低温等离子体保护。这种保护装置有助于将腔室温度保持在最佳水平，同时防止腔室内的危险区域和过热区域。总体而言，AMAT 3500是一种高效直观的PECVD反应堆，能够满足许多商用半导体生产工艺的需求。其先进的两级射频发生器、精确配置的注射区和集成的安全系统有助于确保材料的精确沉积，同时优化吞吐量。APPLIED MATERIALS AKT-3500是寻求可靠和通用PECVD解决方桉的用户的理想选择。