二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380517 待售

AKT, Inc.（AMAT） AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500反应堆是一种通用的等离子体蚀刻沉积设备，用于各种半导体制造工艺。此工具通常用于反应性离子蚀刻（RIE）、离子铣削和化学气相沉积（CVD）。该系统是一个高真空室，提供横截面面积和约25 cm立方的工作体积，在大约10-7 Torr的真空下运行。整个单元由计算机控制，包含压力、温度、分子通量、时间、离子能、电子温度、气体种类等各种工艺参数。为达到高质量的效果，AKT 3500反应堆采用氧化铝、不锈钢等先进的隔离材料，防止环境污染，确保可重复控制和响应。该室还包括一个用于产生高功率等离子体波束的高功率天线。这种天线由机器控制，以实现精确的等离子体蚀刻和材料在半导体晶圆上的尖锐沉积。再者，反应堆可以提供-25°C至250°C的温度范围。其先进的气体加热工具有助于确保快速、准确的处理。此外，AMAT AKT-3500提供各种类型的沉积，包括低压化学气相沉积（LPCVD）、溅射、蒸发和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。该资产与自动卡带到卡带型号完全集成，无需手动转移即可连续使用。此功能可简化装卸过程,有助于提高生产效率。3500的多功能性和准确性使其特别适用于细线结构和先进的设备制造。它在集成电路（ICs）开发中被广泛使用，是半导体制造商经济实惠的解决方桉。此外,该设备采用了可靠的安全标准,并具有温度控制、压力传感器和报警系统等多种功能。总而言之，APPLIED MATERIALS 3500提供了可靠和可重复的结果，并且具有足够的用途，可以对各种材料进行蚀刻和沉积。