二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380518 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500是一种高精度的等离子体反应器设备，设计用于离子注入过程。它有一个可编程的规划系统，可以精确控制剂量和电流分布。该单元广泛应用于半导体工业中，用于加工半导体晶圆。AKT 3500由电源、等离子体源和真空室组成。电源负责控制等离子体源的电源。它可以被编程为调节传递给过程的电量。等离子体源产生高能等离子体，然后被电源电离。这导致电离粒子的电流，可以用来将离子植入正在加工的材料中。真空室是一个密封的、气密的容器，在此过程发生。待处理的材料放置在室内，然后加热到所需温度，以方便离子的植入。植入过程通常需要10-6 Torr的真空。一旦达到这个压力，电源就被激活，电离过程就开始了。粒子通过机器加速，然后撞击材料，导致所需元素的植入。AMAT AKT-3500的可编程规划工具允许对该过程进行精确控制。可以对电流密度和剂量等参数进行编程以定义所需的结果。资产最多配备四个独立的处理通道，每个通道都有自己的腔室，使得多个晶片或基板可以同时处理。AMAT 3500是一种高效、精确的反应堆模型，可用于多种工业应用。它采用用户友好界面设计，在离子植入过程中提供对剂量和电流的精确控制。这样就可以根据特定的客户要求量身定制植入过程，并确保过程的统一性。该设备是半导体晶圆加工中的宝贵工具，在业界得到广泛应用。