二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380520 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 3500是一种单晶片自旋蚀刻反应器，专为在水性介质中蚀刻大型蚀刻结构而设计。反应堆能够产生复杂的图样和精确的特征形状。AKT 3500经过优化，可以蚀刻大小蚀刻结构，以及高通量均匀蚀刻应用。这包括具有正负光敏特性和微通道结构的设计。AMAT AKT-3500独特的设计实现了坚固和可重复的均匀、一致的蚀刻结果。它提供了对蚀刻速率和选择性的极大控制，以及准确的特征定义和深度控制。该工艺在蚀刻过程中还具有良好的电子束掩模-边缘定义和基材温度控制。反应堆使用酸性溶液作为蚀刻剂。这可以从稀释HCl的水溶液到更复杂的溶液。蚀刻过程是通过在基板上涂抹光致抗蚀剂开始的，然后将其纺入AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500板上。然后将其暴露在高强度的紫外线下几秒钟，使光致抗蚀剂粘附在基板上。然后将蚀刻剂添加到压板中,然后在此溶液中旋转晶片一段固定的时间。在此期间，蚀刻剂与光刻胶反应，在基板上发展出所需的地形。一旦完成所需的工艺步骤，就用DI水冲洗压板，然后将底物纺干。之后，除去干燥的光致抗蚀剂，检查底物是否有所需的结果。整个过程相当简单，只需极少的操作员干预即可完成。AKT AKT-3500反应器是一个伟大的工具，在各种不同的底物蚀刻特征。它提供了准确和一致的蚀刻时间，允许高度精确的结果具有极好的重复性。能够改变蚀刻剂浓度和调整工艺参数，使用户能够以不同厚度蚀刻不同的材料，使其成为一种用途广泛的蚀刻工具。