二手 AMAT / APPLIED MATERIALS (4) AE Minos chamber for Centura DPS II #293667189 待售

用于Centura DPS II的AMAT （4） AE Minos室是一种专用反应堆,为各种沉积过程提供卓越的性能和可靠性。AE Minos是集成电路生产中部署的介电薄膜、金属沉积和其他经验证的低压化学气相沉积技术等应用的理想系统。它是一个易于使用的系统,具有最新的软件、高效的操作和节省时间的自动化技术。反应堆结合了预先编程的脚本和"Set and Forget"配方执行，以确保一致、可重复的结果。AE Minos的加工面积很大，直径可达40厘米，旨在加工更大的晶圆，最大限度地提高生产吞吐量。其集成的工艺室允许用户将一个源与最多四个附加源配对,以实现最终的灵活性,同时保持产品质量,并配备了一个快速执行的PID控制器,以将工艺保持在2°C ±的公差范围内。它还配备了先进的主动废气管理能力，为外部环境提供了极低的排放率。AE Minos具有触摸屏控制和USB接口,易于配置和维护。其先进的机器人控制的晶圆旋转木马允许低级别的人工干预，自动化的误运行检测最大限度地提高产量，并消除与手动操作相关的错误。该设计可确保无维护性能,并且一系列安全功能可确保操作环境不受人员和工艺室本身的威胁。它与Centura DPS II的兼容性确保了与现有制造环境的高效集成。AE Minos是用于集成电路生产的可靠、易于使用的反应堆,提供卓越的性能、可靠性和吞吐量。其专门打造的设计，具有先进的PID控制、主动排气管理能力和直观的触摸屏控制，使其成为半导体沉积过程的理想系统。