二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 401493LCM1 #9384031 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 401493LCM1是一个固定金属室，旨在增加气体、液体和/或固相中的特定物种浓度。它由一个外部钢圆柱形外壳、四个不锈钢反应管和一个陶瓷管组成，所有这些都包含在无氧的热区气氛中。大约7英尺高的腔室连接到两个温压控制的热区，一个用于监测过程气体的导热检测器（TCD）和一个用于控制过程流量的质量流控制器（MFC）。由不锈钢制成的反应管悬挂在圆柱形外壳内，并衬有惰性陶瓷。内衬陶瓷的管子减少了污染，纠正了热区温度的不必要波动。嵌入陶瓷管壁的加热器用于保持均匀的真空和室内温度。AMAT 401493LCM1利用腔室和加热区之间的界面，允许注入工艺气体。该过程气体均匀地分布在整个腔室中，确保物种均匀集中以实现均匀生长。加热区各达到700C的温度,并由TCD操作。MFC通过单个入口控制器调节工艺气体，工艺气体的压力在10至15 psi的范围内保持恒定。APPLICED MATERIALS 401493LCM1由耐腐蚀和抗氧化的材料组成，使其成为扩展的连续沉积过程的有利和可靠的反应器。304型不锈钢在反应管内部形成线条，提供高效维护的保护气氛。而腔室的设计压力额定值高达15 PSIG，以确保所需的产品输出。总体而言，401493LCM1是一个三英寸直径、高效的反应堆，旨在提高反应堆性能并确保产品质量得到改善。它是沉积硬面膜、薄膜、多层模具、金属化和其他广泛相关技术的理想选择。该反应堆易于维护,减少了停机时间,并允许更快速、更高效、更经济高效的制造过程。