二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 60KO #9226836 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 60KO是一种专为生产半导体和微电子技术先进材料和涂层而设计的真空沉积/反应性溅射设备。该系统是为精确控制沉积反应而构建的，以产生高质量、高产量、可重复的结果。AKT 60KO是一种高性能的PVD（物理气相沉积）沉积单元。该机由溅射沉淀源和可调质量流量控制器组成，以精确控制气体流量。还提供了循环气体过滤工具，以确保清洁气体供应。该资产还具有可调的高真空湍流抑制模型，是实现高质量目标材料沉积和低气相杂质的关键要素。AMAT 60KO设计用于沉积各种材料，包括金属、陶瓷和类似金刚石的碳。它也可以用于反应性溅射，允许广泛的材料被沉积在基板上。为精确控制沉积速率提供了可调电源设备.该系统还包括一个可选的反应性气源，用于在溅射过程中保持清洁的沉积室。沉积室本身的设计是为了保持较高的腔室清洁度。内部采用不锈钢制成，内衬耐用瓷砖。可调气体喷射装置允许精确控制反应性或非反应性气体的流动。腔室还可以配备可选的原位基板冷却机，以提高沉积膜的质量。60KO还包括一个高级软件界面，允许用户根据特定需要调整沉积过程。也可以对沉积的定制配方进行编程。该工具还具有自动端点检测功能，便于监测沉积过程。总体而言，APPLIED MATERIALS 60KO是一种先进的高性能PVD/溅射资产，旨在生产用于半导体和微电子技术的先进材料和涂层。它具有一系列特点，可以精确控制沉积过程，可调节的高真空湍流抑制模型，以及先进的用户界面。该设备的设计可提供高质量、可重复的结果，并具有极低的气相杂质。