二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7600 #293827238 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7600是一种半导体制造工具，用于制造集成电路和其他半导体器件。AMAT 7600是一个"集团式"反应堆，意思是包括预清洁、基板输送和后清洁在内的各种工艺单元一起配置在一个封闭的曝光室中。APPLIED MATERIALS 7600具有圆柱形反应堆石英室，顶部有一个窗口，用于装载基板。腔室配有高温热板和气体喷射器，使基板保持在特定温度。真空泵用于在加工前将腔室排出，并清除任何副产品。在室内调节压力,以确保一致的热处理结果.7600反应堆有两种不同的运行模式：单反应堆模式和多反应堆模式。在单反应堆模式下，一个反应堆内同时处理一批底物。这是制造简单设备结构的理想选择。在多反应堆模式下，单簇配置最多可使用八个独立反应堆。AMAT/APPLIED MATERIALS 7600具有用于操作和控制的计算机控制接口。该软件提供数据输入、过程监控和质量控制。该软件允许与其他处理设备进行自动逐批集成，以及针对特定半导体器件类型和工艺要求进行可编程定制。AMAT 7600的灵活性、可靠性和自动化使其成为满足各种半导体工艺需求的理想平台。其集群型反应堆配置使吞吐量高、精度高、可重复性强。该系统高度可靠，自动化确保了稳定的工艺条件和可重复的结果。此外，计算机界面提供高效的作业跟踪和数据管理。因此，APPLIED MATERIALS 7600是一种高效可靠的工具，广泛应用于半导体器件的制造和各种加工步骤集成到一个单元中。它的灵活性和准确性允许高质量和可重复的结果。