二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9095979 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7700是为半导体等离子体工艺而设计的反应堆。AMAT 7700利用AMAT专利的HiCap Power和Multimode源在晶圆基板上提供最高水平的均匀性和等离子体蚀刻速率。APPLIED MATERIALS 7700独特的交叉功能允许两个电源之间的不间断转换,从而实现无缝的过程周期和出色的过程稳定性。7700能够处理蚀刻、氧化物沉积、氮化物沉积、冷凝等过程。其广泛的腔室大小和材料使其适合广泛的应用。该源腔还具有增强的高保真等离子体加工均匀性控制和最有效的低K沉积等离子体蚀刻工艺。AMAT/APPLIED MATERIALS 7700配备高功率射频放大器，确保稳定可靠的等离子体产生和控制。它还利用先进的等离子体监测系统来保持等离子体密度和蚀刻速率之间的精确平衡，以实现更好的工艺控制。AMAT 7700的卓越性能得到其先进的诊断和诊断分析功能的补充。利用原位诊断分析，用户可以精确跟踪等离子体种类、离子能量分布和处理时间。此外，先进的光发射光谱诊断可以快速分析等离子体中杂质的存在，从而实现更快的工艺优化。APPLIED MATERIALS 7700的耐用性和安全特性也确保了安全高效的加工环境。其先进的安全/故障/熄火功能可保护腔室免受高温循环和潜在电弧的影响,并具有紧急关闭系统,可保护系统免受意外损坏。总而言之，7700反应堆是半导体等离子体加工的强大可靠工具。其强大的光源和射频放大器加上先进的光发射光谱诊断能力，提供了业界最高水平的蚀刻速率、均匀性和准确性。此外,其独特的交叉特性和过程安全特性使其非常适合任何蚀刻、沉积或冷凝过程。