二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9269447 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7700反应器是一种高精度、多室的工具，用于沉积用于先进半导体应用的薄膜。它支持多种工艺技术和多种溅射基板。此设备可提供准确、高效和可重复的处理。应用包括PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）、LPCVD（低压化学气相沉积）、MOCVD（金属-有机化学气相沉积）和原子层沉积（ALD）。它利用高级流程模块来增强性能和访问额外的流程功能。基于照相机的计量和隧道显微镜模块确保了高级纳米级沉积过程的完整性。它还可以在系统内部使用多个不同的溅射目标，并支持最多四个共溅射过程。AMAT 7700反应堆可以处理一系列的基材尺寸和形状，从小晶片到大基材。该单元还支持多种基板装卸方法。具有核心特性的附加手套箱确保了良好的工艺重复性和安全性。该机器与AMAT PVD过程管理（AMPM）软件包的兼容性为低成本的过程开发和生产提供了更高的控制级别。它集成了功能强大的软件控件,以实现板载调度和作业跟踪、过程记录和报告以及远程诊断支持。该工具旨在减轻操作和维护的总体负担。它使用既定且公认的流程模块技术的内置补偿来确保可重复的高性能。该反应堆具有脉宽调制电源，用于快速响应和快速稳定。它还提供精确的温度控制。它有一套广泛的极化和蚀刻操作，允许配置多层和过程步骤。该资产还支持许多物理和化学传感器进行过程监测。APPLIED MATERIALS 7700反应堆是MEMS器件制造、光电材料沉积、MEMS显示器、传感器、超小型化等先进半导体和纳米技术应用的理想工具。它是一种可靠的解决方桉,可满足各行业的各种薄膜生产需求。