二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7800 #9095974 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7800是一种多用途沉积设备，用于多种薄膜工艺。它具有广泛的功能,旨在支持大量的电影增长需求。AMAT 7800是一种反应性离子等离子化学真空沉积工具。它旨在存放高质量的薄膜和结构，以及特征的蚀刻。APPLIED MATERIALS 7800服务于磁盘驱动器、图形显示、IC封装、显示和光伏应用等多个行业。7800包括直流磁控管溅射源，能够产生用于薄膜沉积的高功率单频溅射放电。它具有多种工艺气体选项，可以引入室内，以帮助生产一系列薄膜，包括氧化物和其他高介电材料。Applied Material AMAT/APPLIED MATERIALS 7800具有低压等离子体源和四臂石英天线系统,该系统可产生离子并使其在整个腔室内加速,从而提供基板或薄膜厚度的均匀性以及特征的蚀刻。它还配备了高压"脉冲RIE"源，能够为磁性介质应用产生高顺磁性层。沉积单元装有两个臂装式静电晶片卡盘，允许均匀覆盖整个晶片。除了均匀沉积外，该工具还支持边缘斜角、氧化物浸涂层加工、花纹蚀刻等独特特点，以提供优越的工艺均匀性。AMAT 7800通过其软件和编程功能提供了卓越的过程控制和可重复性。该机能够控制基板和目标材料上多达40个工艺参数，以实现最大的薄膜沉积、沉积均匀性和工艺性能。总之,APPLIED MATERIALS 7800提供了市场上最可靠、最有效的工艺控制,旨在用于各种薄膜增长应用。对于那些希望以可重复的精度和可靠的性能来存放高质量薄膜和结构的人来说，这是一个很好的选择。