二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #69375 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactor是一种先进的化学气相沉积（CVD）设备，用于将各种材料的薄膜沉积在基板上。该反应堆的设计旨在促进高精度、生产质量的薄膜制造，其中包括金属、碳化物、氟化物、氮化物、氧化物和复合半导体化合物等大量材料。AMAT 7810 RP反应堆的主要特点是操作和维护方便。它具有用户友好的界面和许多自动化功能,可简化流程,如配方步骤、压力控制、温度控制和质量流量控制。此外，该系统还设有原位气体清洗装置，可最大程度地减少基板污染。APPLICED MATERIALS 7810 RP Reactor因其灵活的工艺室设计提供了非凡的多功能性。它可以容纳各种各样的材料，包括纳米材料和从英寸到微米的基材尺寸。此外，其模块化设计允许在单个工艺周期内对反应堆进行升级，使其非常适合于不断改进工艺和快速原型设计。反应堆有两个独立的反应室--一个单室加工机和一个双室加工工具。单室工艺资产设计用于单层沉积，而双室工艺模型设计用于多层结构的沉积。在这两种配置中，反应堆都有一个大的锁载室、一个低压锁载室和一个真空室。反应堆还提供从室温到超过1000 °C的精确热控制。7810 RP Reactor配备了高灵敏度温度、压力和流量计，此外还有先进的PLC控制器，用于精确自动化的过程控制。该设备还具有Endura监控软件,具有完整的数据记录和报告功能,用户可以密切监控正在进行的流程。此外,反应堆的模块化设计提供了热提取和热回收选项,从而实现了工艺优化和成本节约。总而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP反应堆是一种可靠、用户友好的薄膜沉积系统，提供多种材料和基板配置。它的高级控制系统和自动化流程减少了对操作员干预的需求，而其广泛的监控功能使用户能够密切跟踪正在进行的流程。由于其模块化设计和热回收选项,该单元还提供了灵活性,使其成为高精度薄膜制造的理想选择。