二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #9804 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP（Rapid Processing）反应堆是一种创新的批量型反应堆，用于快速半导体晶圆加工。设计用于前端晶圆的制造和制造过程的开发。该设备采用半自动、连续加载的盒式磁带到盒式磁带工艺，每批最多可容纳240个150毫米或150个200毫米晶片。离散的工艺组件，如批量装载机/卸载机、熔炉、百叶窗和冷却器都是模块化配置的，可以组合起来，以符合用户精确的工艺要求。该系统配备了AMAT全套晶片处理工具，包括先进的晶片清洗系统和一个精确、高速的晶片中心装置，减少晶片加载/卸载时间。它还具有一个原位粒子测量机，能够快速分析晶圆清洁。AMAT 7810 RP设计用于精确的温度控制和精确的过程控制。该工具利用PID控制功能，沿炉区提供一致的温度分布和反应物添加的精确控制。它还具有快速加热控制器,可减少晶圆转换时间并提高吞吐量。高级控制资产提供自动保存的过程参数（温度和反应物浓度），可用于过程可重复性和开发。该模型还提供了全面的实时数据跟踪,使流程工程师能够监控和规范流程。APPLIED MATERIALS 7810 RP是一种先进的加工工具，对于高效、高产量的半导体加工至关重要。它界面简单、控制精密，是高容量、高质量工艺开发的理想之选。