二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #293827237 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 Reactor是一种高性能沉积设备，设计用于在大型硅基板上沉积高质量薄膜。它利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD），使制成品能够将SiO2、SiCN等介电材料层沉积到硅、石英或金属表面上。AMAT 7810可实现10nm线宽，接近原子级精度。该系统具有足够的灵活性，能够以高利率沉积大量材料或沉积完全均匀的非常薄的层。APPLIED MATERIALS 7810 Reactor配置为一个集成处理室，包含一个120立方厘米的加工室，有三个独立配置的源模块。源模块提供反应物气体的等离子体，以诱导和控制沉积。该沉积单元还可用于溅蚀、显影和退火。腔室分为两个截然不同的计量隔室，每个隔室都有一组独立的控制参数。7810还有一个集成的在线质谱仪，能够更准确地控制反应物气体组成。AMAT/APPLIED MATERIALS 7810反应堆利用辐射散热器高效消散热能，利用带射频偏转板的平行板静电卡盘维持平整基板。该机采用不锈钢框架，保证了平稳、一致的真空操作。AMAT 7810反应堆具有高功率密度，因此可以在高温和较短的循环时间内沉积和蚀刻大型基板。APPLIED MATERIALS 7810 Reactor通过优化的工艺控制器提供了改进的性能，允许用户快速设置多个配方和工艺序列。该工具能够以微米级精度控制工艺参数，并能在最小的操作员干预下实现令人难以置信的高吞吐量。总体而言，7810反应堆是一种功能极其强大、用途广泛、维护效率低、成本效益高的半导体器件制造沉积工具。其精确度和功能使其非常适合各种应用,包括平板显示器、内存设备和光电元件。