二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #9077262 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810是一种先进的CVD反应堆，设计用于广泛应用的过程能力。先进的等离子体增强型化学气相沉积设备是一种高产、高性能的沉积超薄膜的先进器件技术。AMAT 7810反应堆的设计成本低，性能成本低。该系统可以配置为单个晶片或批处理过程，以及广泛的现场计量系统阵列。它既配备了单晶片静电卡盘，也配备了多过程腔室，以实现先进的批处理和单晶片工艺。APPLIED MATERIALS 7810反应堆还具有先进的等离子体源技术，包括等离子体增强CVD（PECVD）源。这一技术允许对温度、离子浓度、离子通量和通量剖面以及其他沉积参数进行工艺控制。7810基板支架最多可容纳6个12英寸硅晶片,负载单一,包括晶片旋转装置和中央真空端口。晶圆旋转装置连接到集成控制器，该控制器提供位置精度和精确度，使晶圆在沉积过程中能够精确放置。反应堆还与闭环晶圆温度控制单元集成，在过程中保持恒定晶圆温度。AMAT/APPLIED MATERIALS 7810反应堆拥有先进的原位监测机，可对沉积过程进行实时监控。集成的冷却功能和现场监视器允许快速循环时间和过程优化。AMAT 7810先进的监测和冷却功能还提供了对沉积速率和层厚的精确控制，从而提高了产量并提高了工艺效果。除了其先进的工具特性，APPLIED MATERIALS 7810还提供了先进的安全和维护控制系统。气体压力控制设备确保安全和准确性，专有的闭环原位压力监测仪确保不间断和高效运行。7810还具有模块化设计，便于维护和升级。总体而言，AMAT/APPLICED MATERIALS 7810是一种先进的CVD反应堆，旨在为各种应用提供卓越的工艺能力。AMAT 7810凭借其先进的监控和冷却系统、低耗费、精密的工艺控制以及低性价比，是先进设备和技术制造的绝佳选择。