二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #9258176 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810是一种用于薄膜材料沉积的沉积反应器。反应堆腔室装有一个填充了氙气的等离子体源，用于清洁和低温处理。反应堆装有电子回旋共振（ECR）源，有助于产生比其他类型沉积系统产生的质量更高的涂层。该反应堆设计高效，具有最新技术和尖端设计特点。腔室可容纳直径达200毫米的多个晶圆尺寸。AMAT 7810提供了广泛的沉积参数，包括气流、总压力、所需的目标温度、基板温度、源功率、偏置功率和加热功率。这对于生产用于电子、能源、光学、射频/无线和生物医学领域各种应用的薄膜材料非常重要。大腔室和高温能力允许大规模沉积在一个单一的运行。该设备还配备了基于计算机的个人操作员界面，便于设置和操作。该系统包括完整的材料库软件,使用户能够为当前过程选择最佳沉积参数。该库包括金属、磁性、半导体、电介质和陶瓷等所有不同类型材料的数据。APPLIED MATERIALS 7810还具有干式至干式运输单元,可实现批量处理操作,以及一个集成的负载锁定和泵站,最多可装卸17个晶圆。该机配备了一个可简化过程控制和气体流动的自动放大器。7810是为了满足生产和研究的要求而设计的。这些部件的高可用性、易于操作、沉积物的精度和准确性以及该工具在生产中的可靠性是其优点之一。$AMAT/APPLIED MATERIALS 7810被认为是市面上最顶尖的薄膜沉积系统之一。