二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 7811 #9095878 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 7811是一种多室高温真空炉，设计用于半导体制造的各种高温热处理作业。该仪器配有若干加热元件，可产生高达1400 °C的温度，通过计算机控制可在2.5°C的±范围内精确调节。这个先进的工具是由一个主反作用室和一个辅助的下腔（加工工具）通过一个可移动的门连接起来，在基板转移和加载操作时提供对晶片的访问。反应室保持在恒定的氮气气氛下，而工艺工具则通常充填有氙气。该炉还配备了气体喷射设备，能够向加工室提供各种前体气体溷合物；支持沉积、氧化、退火和开槽等过程。AMAT 7811包括一个先进的加热系统，在反应室内外都有几个元素。该单元具有一个独立的主热区，以及可调节的预热和后热器，使仪器总共有三个热区。这允许精确的温度管理和晶圆和工艺的均匀加热。该工具还装有一个石英视口，它允许目视进入加热室，从而直接观察晶圆的进展。仪器配有多个报警和安全装置，确保操作员和设备的安全。这些安全装置中有盖子盖和底板，以防止意外暴露在高温下。APPLIED MATERIALS 7811还包括两个独立的真空泵，实现了大规模和小规模的加工操作。7811是高温热处理操作的高度先进工具，是大多数半导体制造工艺的组成部分。该仪器采用室内和可调加热元件、设计精良的气体喷射机、多警报器和安全装置以及石英视口工具，提供可靠和可重复的结果，是任何半导体制造工艺的绝佳选择。