二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8130 #9364855 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8130是一种先进、高性能、具有成本效益的化学气相沉积反应器，用于处理3D NAND和其他电路形成过程。使用垂直方向，AMAT 8130能够在直径不超过200毫米的基板上沉积均匀厚、均匀控制的层。采用模块化、与工具无关的设计，APPLIED MATERIALS 8130可用于一系列不同的沉积过程。8130是一个单晶片反应堆，设计具有先进的机械设计，提供快速可靠的性能。机械设计允许快速、方便的维护,以及扩展的过程窗口。大型多区装卸站提供对温度、流量和压力的严格控制，以提供均匀的沉积。此外，还有四个独立的工艺室，每个室都有自己的加热元件，可以烘烤630°CI/250°C。独立的加热元件可提高基板工艺的均匀性,并已进行测试以保持± 2°C的均匀温度。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS 8130配备了先进的真空控制设备，可容纳一系列工艺压力，有效清除反应物气体。该系统包括一个数字压力控制器，维持所需的过程压力，以及提供快速、可靠、稳定真空的涡轮分子泵，从而改善反应物气体的输送和改进过程控制。一个综合运动单元，由反应堆的机器人界面控制，使底物的装卸自动化，并允许四个反应室之间的快速和容易转移。此外,集成运动机简化了维护,减少了停机时间。该工具还可以精确控制基板的定位和工艺温度，从而提高工艺的均匀性。AMAT 8130是一种先进、高性能、具有成本效益的化学气相沉积反应器，旨在提供改进的沉积过程均匀性和性能。APPLIED MATERIALS 8130以其模块化、与工具无关的设计，可用于生产3D NAND等先进集成电路的各种电路形成过程。其集成的运动资产，加上数字压力控制器和涡轮分子泵，使反应堆得到了更好的过程控制和更高的精度。8130能够在± 2°C的气氛中烘烤630°C,非常适合高精度沉积过程。