二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9240-03211 #293635674 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 9240-03211反应堆是为高精度应用而设计的高性能CVD沉积工具。这种设备能够在控制微观结构和薄膜形态的同时，生产出特别坚固、均匀的薄膜。反应堆设有真空室、坚固的气体输送系统和动力加热元件。这种元素组合使得它能够在高压和高温下运行，在大面积上提供具有可重复特性的均匀薄膜。AMAT 9240-03211反应器室由镍涂层不锈钢构成，包括一个压板和旋转门。压板是安装基板和目标的腔室的重新进入者。入口处的旋转门可以方便地进出沉积室的基板。腔室内部采用低调配置设计，可实现高分辨率的均匀性和可重复的效果。反应堆配有气体输送单元，提供对气体流速、溷合和定时的精确控制，以确保整个基板上的薄膜沉积均匀。该机由一台爱德华兹E2M18真空泵、一系列质量流量控制器和一个配有阀门的歧管组成，用于将气体输送到沉积室的各个部分。通过控制气体流动和组成，反应器能够生产出均匀性和可重复性的高质量薄膜。APPLIED MATERIALS 9240-03211反应堆还包括一个受控大气室，该室装有由中央处理器（CPU）调节的加热元件。这种加热元件能够产生高达1000 °C的温度和高达200 Torr的压力。加热元件产生的高温高压环境促进了整个基板上薄膜的均匀沉积。9240-03211反应堆是生产高质量薄膜的可靠工具，其特点使其非常适合广泛的高精度CVD应用。利用其温度和压力控制、精确的气体输送工具以及坚固的腔室设计，该资产能够生产出具有可重复效果的均匀薄膜，以满足苛刻应用的需要。