二手 AMAT / APPLIED MATERIALS A600 #9315959 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS A600是一种先进的等离子体工艺反应器，用于各种半导体制造工艺。它是一种高产反应堆，过程可靠性高，可重复性高，用于大批量制造（HVM）环境。AMAT A600能够为各层创造最多样化的薄膜结构，使其成为半导体制造的理想工具。APPLICED MATERIALS A600是一个独特的室内设计，允许开放式淋浴设计和开放式工艺概念。这种腔室设计能够简单地安装各种工艺模块，方便高效的维护，并保证与最新工艺模块的兼容性，如多源PECVD和硬烤PECVD。开放式淋浴头设计还确保整个晶片上的薄膜均匀性，包括中心和边缘。A600过程反应器包括高性能射频发生器和60MHz频率。这样可确保对软烘烤和硬烘烤工艺的功率进行精确控制,从而实现高沉积速率和高长宽比工艺的高步长覆盖。AMAT/APPLICED MATERIALS A600具有独特的双设备设计,每个系统由一个射频源组成,可确保整个晶圆的过程结果准确无误。除了令人印象深刻的优势之外，AMAT A600还包括一个独特的单元特性，能够分析腔室压力，使反应堆能够提高工艺一致性。此外，这一特征可用于监测外部泄漏的早期发生，以便及早发现和纠正情况。总之,APPLICED MATERIALS A600是一系列半导体制造工艺的理想解决方桉.它的高级功能,包括高性能射频发电机和开放式淋浴台设计,以及可靠的过程控制和压力分析机,都是为了确保在一系列过程中获得可重复和可靠的结果而设计的。这使得A600成为制造各种半导体产品的绝佳工具。