二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #293615967 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 1600A是一种创新和高度可靠的垂直干蚀刻反应堆。它被用于对包括硅（Si）、砷化氙（GaAs）等多种半导体材料进行等离子体蚀刻、等离子体灰化、碳膜蚀刻等干蚀刻工艺。该反应器设计为进行高长宽比蚀刻，选择性高，均匀性高。AMAT/AKT 1600A提供了一个重要的功能组合,包括广泛的工艺范围、大型的工艺室、先进的运动控制和速度以及卓越的阵列功能。反应堆装有高分辨率的飞行时间蚀刻，能够在不同蚀刻过程中精确控制离子束。先进的数字控制逻辑和多种排气配置提供了涵盖蚀刻深度、蚀刻速率和选择性要求的多种过程。AMAT 1600A提供了非同寻常的流程可重复性和低拥有成本。基于最新数字IGBT技术的内置可编程控制器确保了对工艺参数的卓越控制。反应堆还配备了Z-步进电机和用于先进运动控制的Rotocage。板载控制器包括用于验证蚀刻速率、选择性和均匀性的双点测试功能。应用MATERIALS/1600A反应堆具有出色的设计特点、性能和成本效益。它是行业领先的蚀刻反应堆，用于对各种半导体材料进行高精度加工。其优越的图桉、可重复性和选择性能力使其成为半导体制造中蚀刻任务的理想选择。其先进的数字控制逻辑和多重排气配置使其成为优化离子束过程的理想选择。简而言之，APPLIED MATERIALS 1600A是一种先进的反应堆，旨在提供卓越的蚀刻性能、成本效益和卓越的工艺能力。