二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #293620423 待售
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ID: 293620423
优质的: 1999
PECVD System
Missing parts:
Pump unit for (4) chambers
(4) Susceptors for process chamber
Hard Disk Drive (HDD)
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600A是一种先进的等离子体增强化学气相沉积反应器,设计用于合成薄膜材料。反应堆配备了几个特点,使其成为研发、生产和原型作业中薄膜沉积工艺的理想选择。AKT 1600A采用等离子体发电设备,利用射频和微波功率使等离子体气体电离,从而提高等离子体蚀刻的均匀性。该系统提供了配置反应堆射频功率和气体控制系统的有效手段,同时优化等离子体参数。反应堆还通过高性能冷却装置提供出色的温度控制,从而能够精确调整工艺温度。反应堆还有一个基于软件的机器,允许用户快速、轻松地编程操作参数,包括压力、温度和射频功率水平。此工具提供了对关键参数的实时监视,以及支持流程跟踪和优化的数据记录功能。AMAT 1600A由真空室、低压等离子体源和控制器组成。真空室为材料加工提供惰性环境,并配有阳极氧化钛衬里,以增强均匀性。低压等离子体源利用微波能量产生高能等离子体,在薄膜沉积中提供均匀性。控制器允许对过程参数进行精确控制,从而能够在预定范围内进行操作以获得最佳效率和结果。1600A对于需要增强薄膜沉积能力的用户来说是一个极好的选择。这种反应堆结合了功率和精度,非常适合加工各种材料和底物。而且,它多才多艺的设计和直观的操作使得它成为研究者、开发者和生产设施的绝佳选择。
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