二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #9196910 待售
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已售出
ID: 9196910
晶圆大小: 2"
优质的: 1999
PECVD System, 2"
Glass size: 370 X 470 mm
TM Chamber
A/B/C/D Chambers
MFC Box
Regulator box
Main frame
Control panel
Index
Monitor table
Pump rack
Dry pump 1 (L/L)
Dry pump 2 (T/M)
Remote frame
Main scrubber
Missing parts:
(4) Chambers pump
Suspector (4) Chambers
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600A是一种高端研发反应堆,设计用于原子层沉积(ALD)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。这种单晶片反应器能够精确、可控地沉积只有几纳米厚的极薄膜,非常适合设备制造和纳米技术研究。AKT 1600A的腔室直径200毫米,能够处理温度范围为50°C至800°C,压力为0.5至200 mTorr的基板。它也与多种大气和流动相适应,包括氮气、六氟化硫、和氙气/氧气。该反应器的设计易于使用和简单的校准。它有六个样品提升位置,也可用于收集侧面轮廓作进一步分析。这些功能结合在一起,使用户能够精确控制沉积速率和均匀性。AMAT 1600A上的电源是2.75kW射频发电机;一个非常有效的动力来源为他们的应用范围。这台发电机提供从1 kHz到1 MHz的广泛工作频率。它配备了允许用户调整频率、功率和偏差等设置的高级软件。该1600AL还提供先进的温度控制和监控功能,允许用户将温度设置和监控在0.2°C以内。这对于需要非常精确温度才能达到理想效果的应用来说是理想的选择。最后,APPLIED MATERIALS 1600A配备了自动清洗系统,以保持室内最高的清洁水平。该系统有助于确保反应堆的性能水平随着时间的推移保持不变。所有这些特点使1600A成为当今市场上最受欢迎和最可靠的研发反应堆之一。反应堆成为许多先进材料研究和器件制造应用的首选。
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