二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-25K #293604834 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-25K是一种先进的、高性能的垂直等离子体反应性离子蚀刻（RIE）反应器，设计用于半导体生产过程。这一先进的系统能够提供干净、高质量的过程均匀性和关键维度（CD）控制。针对提高产量和提高蚀刻率均匀性进行了优化。AMAT AKT-25K支持多种材料，包括陶瓷、金属和氧化物，可用于气相或液体过程。该系统采用加速器控制和过程鲁棒性，针对高速和精度进行了优化。它还旨在方便地与其他系统和流程集成。APPLICED MATERIALS AKT-25K的高速垂直架构使其能够支持高通量的应用，具有一个可并行处理多达4个晶圆的工艺室。垂直布局提供了更短的传输时间,有助于保持过程的均匀性,并减少晶片与晶片碰撞造成损坏的可能性。AKT-25K由先进的电源提供动力,可以配置为优化工艺质量和电源效率,从而能够精确处理各种材料和各种工艺。它还包括多个气体控制系统，允许用户轻松控制多个过程。AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-25K包括许多安全功能,如接地故障、气体泄漏和电弧检测,以防止过程损坏,互锁系统以防止意外的交叉通信和易于集成,以及自动晶圆卸载保护。它还具有用户友好的GUI,使用户能够快速轻松地设置和管理复杂的流程配方。总体而言，AMAT AKT-25K是一种先进的高性能反应堆，设计用于半导体生产应用。它通过优化的电源和气体控制系统、安全功能以及用户友好的GUI提供了强大的流程。其先进的垂直体系结构允许对各种材料进行快速、准确的处理,其过程吞吐量功能使其成为高吞吐量应用程序的理想选择。