二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-55k #9237806 待售
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ID: 9237806
PECVD System
Generation: 8.5
Dual single slot loadlock (Loading, cooling, unloading)
Transfer chamber
(3) Process chamber
Master cluster controller
Remote support system:
RF Generator
Pump
Abatement
Heat exchanger
Remote plasma
Substrate size: 2200 mm x 2600 mm
(3) Susceptor: Temperature<230°C
(2) Loadlock: DSSL
Vacuum robot: Dual arm
(3) RPSC: MKS
(3) Abatement
EDWARDS Pumps:
(7) iH1800
(3) iF30K
RF Generator:
(3) 13-14MHz (15kW)
(4) 40MHz (4kW)
(3) Gas panels: NF3, Ar, SiH4, H2, PH3, B2H6
Loader: Manual loader.
AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-55k反应堆是一种工业级反应器室，旨在促进受控反应堆环境中各种化合物的合成。它是一个密封容器，其中各种反应辅料被溷合反应形成新的化合物，并且能够维持高达1,000 °C的温度。该腔室由几个模块化组件组成，包括冷外壁、反作用室和活性部件。冷外墙是由不锈钢制成的双壁外壳，作为整个单元的非反应性外壳。外壳内为反应室，反应过程在此发生。腔室内衬耐火材料,可容纳55千克材料。反应堆的活动部件包括气体处理设备、温度控制系统、压力控制单元和流体传递机。气体处理工具以天然气为燃料来源产生所需的温度，而温度控制资产则优化温度以满足所需的反应条件。同样，压力控制模型管理反应堆内部的压力水平，流体传递设备管理送入反应堆的材料。该系统还配备了一系列安全功能，以确保人员和设备的最佳性能和安全。防爆防火器可防止容器内发生爆炸。一个减压阀也包含在单元中，以在反应失控的情况下排出多余的压力。还包括惰性气体供应线，以防止反应性物质引起危险反应。该反应堆非常适合各种不同的应用，包括化学合成、冶金或化工厂操作、石化精炼以及新材料的测试和表征。这种价格合理的设备可提供高效和受控的性能,并可集成到各种工业操作中。
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