二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC-7700 #293666919 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS AMC-7700反应器是一种模块化、计算机化的等离子体蚀刻设备,用于各种晶圆蚀刻过程。它是一种经济实惠、可靠和高效的制造电子元件的方法,需要精确移除物料层才能达到所需的设计要求。反应堆能够加工玻璃、金属、陶瓷、塑料等材料。AMAT AMC-7700配备了三相电源、多块控制板、工业级射频元件以及强大的压力和温度控制系统。这种组分组合允许精确控制等离子体参数和循环条件,以提高工艺可靠性和产量。该单元设计用于批量和单片加工。机器的原位监控工具(ISM)由一对锁载、可装载的气室组成,其中可以控制腔室压力、温度和射频频率。ISM允许对腔室参数进行实时调整,以确保最佳蚀刻结果。这也减少了为每个进程设置和刀具资产所需的时间。ISM还用于检测样本区域的状态和组成,帮助进行故障排除和维护。APPLIED MATERIALS AMC 7700还提供了许多其他支持组件,如特征驱动蚀刻速率控制、多扫描模式、多配置、高度可配置的原位监控模型以及循环快速脉冲模式。此功能阵列允许在蚀刻过程中具有灵活性,并有助于减少过程时间。此外,该反应堆与许多现有和更新的机器人处理系统兼容,以进一步提高蚀刻工艺的效率和质量。总之,APPLIED MATERIALS AMC-7700是一种可靠、经济高效的精密蚀刻设备。它的一系列功能和组件,如现场监控系统、多种扫描模式和功能驱动的蚀刻速率控制,为蚀刻过程提供了极大的灵活性。对于任何半导体制造设施来说,这种坚固的装置都是一种宝贵的资产.
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