二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #9293631 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX反应堆是晶圆制造行业领先的工艺工具,可实现高功率水平的工作温度。它是大型燃烧室系统应用中性能最高的瓦特反应堆。该反应器结合了AMAT专有的增强退火技术和原子层沉积技术，以支持先进的低k和多孔低k材料具有最高均匀性和沉积速率的多步工艺流。AMAT AMC 7800 RPX反应堆是一种多用途、经济高效的工具，易于操作和维护。它提供高吞吐量水平,最高工艺速度为每小时80个晶圆,专为预处理、低温退火、清洁、薄膜生长和蚀刻工艺而设计。其载荷端口能够处理直径最大为12英寸（300毫米）的晶圆和厚度最大为4mm的晶圆。预溷合功能可在最佳条件下实现各种工艺步骤的卓越可重复性。其环境可持续性特征由应用材料增强源净化（ESP）提供动力,它减少了颗粒污染,并在更具生态友好性的工具的早期过程中排出气体。它还通过使用虚拟维护程序维护长期的可靠性和稳定性,帮助降低拥有成本。集成的主动污染控制系统可实时监测室内清洁度，并实现氮化物自动清洗。APPLICED MATERIALS AMC 7800 RPX配备了智能传感技术和先进的计量功能,可提供完整的高分辨率诊断产品组合,用于实时过程分析和提高吞吐量。闭环温度控制优化了热环境，确保了精细材料的精确、可重复的热处理。AMC 7800 RPX反应堆是预算紧张、占地面积有限的中小型半导体制造商的理想选择。其卓越的可重复性和性能,加上高吞吐量、行业领先的工艺统一性和低拥有成本,使其成为生产用途的绝佳选择。