二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7810 #102168 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7810是一种工业反应堆，用于氧化、剥离、蚀刻等过程。这种特定的模型非常适合使用永久性和或挥发性光致抗蚀剂。AMAT AMC 7810的密室制造体积为0.3m3，温度可高达400 °C。该腔室使用由不锈钢、KF元件、电气连接和6英寸CF法兰构成的腔室密封设备密封。可使用机械或电气溶液稳定受控压力。反应堆包括用于维持和控制气流和真空的一系列组件。气流由气源系统管理，真空由扩散泵控制器管理。反应堆通常通过计算机自动化过程控制（CAPC）单元进行控制，该单元可以连接到PC Programmable逻辑控制器站。本机设计用于监视、检测和恢复腔室操作参数，如温度、压力、流量等。APPLICED MATERIALS AMC 7810还带有多项安全功能，如安全过压工具、排气阀、真空互锁、压力指示器等。该反应器的设计目的是为去除光致抗蚀剂的蚀刻过程提供精确和精确的控制。它为低体积和中等体积、工艺线蚀刻和晶圆清洗提供了优化的解决方桉。它也可用于广泛的工艺化学，为不同的蚀刻工艺提供灵活性。总体而言，AMC 7810是一种工业级的蚀刻和气体流动反应堆，能够达到高温，可以很容易地集成到一条工艺线上。它为蚀刻工艺提供了精确的控制，使用了各种各样的工艺化学方法，减少了循环时间，提高了工艺效率。